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            公司新聞
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            硬核破局 | 浙江欣奕華棋行“智”造 落子有聲——對話浙江欣奕華CEO劉常倫

            發布時間:2023-05-19

            文 / 物流技術與應用 記者王玉


            導語

            Introduction

            復合移動機器人(一種集成移動機器人和通用工業機器人兩項功能為一身的新型機器人)在半導體行業的應用尚處于導入期,如何實現在半導體行業,乃至整個高端制造行業的規?;涞貞檬且苿訖C器人解決方案提供商們正在探索的難題。浙江欣奕華率先打開了行業局面,在高端制造物流場景中不斷突破,未來可期。

             

            在硅片制造、晶圓制造、封測廠等半導體制造領域,大量依靠人工的物流環節亟需被替代,移動機器人的需求呈現爆發式增長。但是,由于半導體行業自動化運作極為復雜,并且直接關乎生產效率、產品良率、制造安全等,要求移動機器人具備更高精度、更高性能、更多功能,適應更嚴苛的環境……這給移動機器人技術提升、產品突破和解決方案創新都帶來了巨大挑戰。目前,移動機器人在半導體行業的應用還多為演示場景,真正意義的規?;涞貞眠t遲未能打開局面,尚處于導入期。

            就在前不久,全場景移動機器人解決方案提供商,浙江欣奕華智能科技有限公司(以下簡稱浙江欣奕華)傳來喜訊,他們團隊研發的SIBOT系列復合機器人在國內半導體行業實現了規?;涞?,上百臺復合機器人高效運作,支撐半導體企業高效運營,這也是國內半導體行業首例實現規?;涞剡\行的復合機器人產品。同時,他們團隊研發的W系列水槽機器人產品也填補了半導體物流領域清洗工藝的空白。為此,物流技術與應用記者來到浙江欣奕華公司拜訪了CEO劉常倫先生,他告訴記者:加速融合AI、5G、物聯網、云計算等新技術推進移動機器人技術和產品創新,以及更快、更精準地洞察客戶需求,理解客戶場景,為浙江欣奕華機器人在半導體行業的率先破局奠定了堅實基礎。

             

            Q1

            移動機器人在半導體行業規?;涞貞玫那闆r如何?

            全球市場對半導體材料需求上升,各大硅片制造、晶圓制造、封裝制造廠商紛紛對產能擴張,半導體生產設備投資成本極高,為了最大化提升生產設備利用率,大多半導體制造企業都是7×24小時作業,因此,數字化、智能化物流體系的支持至關重要。

             

            半導體行業生產自動化程度相對較高,生產物流環節普遍會應用以進口為主的OHT (空中走行式無人搬送車)進行在制品在不同設備間的運輸。OHT需要投資高,固定線路部署,一經部署無法變換,對工廠的前期規劃要求能力較高,對于邊生產、邊擴產、異或工藝設備升級的半導體企業們提出了更高的資金和空間要求。移動機器人產品不需要鋪設軌道,并且具有智能化、柔性化、運營效率高等優勢,這些發展環境和移動機器人自身特點決定了其在半導體行業具有規?;涞氐目赡苄?,尤其是復合機器人在規?;涞胤矫娓邚V闊前景。

             

            但是我們也要看到,移動機器人在半導體行業的規?;涞貞眠€面臨非常多的困難,目前行業里面所謂的應用多為演示場景,真正支撐半導體企業工廠運營的規?;涞貞眠t遲未能打開局面。

            Q2

            那么,面臨的難點究竟在哪兒?

            主要難點來自于半導體行業需求特點和高要求。

             

            從需求特點來看:與傳統生產流水線完全不同,半導體廠內各個工藝設備呈集群式分布,空間狹小,生產過程離散,工藝流程復雜;生產車間的潔凈等級要求高;產能及良率決定了高額投資的回報周期;人為的因素越多,影響良率的因素越復雜;物流環節不僅需要簡單的搬運,更需要在相應環境下完成上下料、賬料信息管理、檢測等作業。

             

            這些特點注定了半導體行業對移動機器人產品和解決方案的高要求,主要要求包括:

            1.高潔凈度,晶圓制造廠要達到Class100以上,封測廠對移動機器人的潔凈度要求可達到Class10。

            2.高減震能力,晶圓工廠對移動機器人搬運中產生的震動要求在0.5g以下。

            3.高精度,由于移動機器人在半導體制造企業面對的對象可能是異形載具,對設備抓取精度提出了更高要求。

            4.高安全,半導體行業生產物料、生產設備都很昂貴,人機協同作業場景較多,移動機器人需要全方位保障人員、物料、生產設備安全。

            5.穩定高效,能夠完全滿足生產節拍需求,絲毫不可影響生產。

             

            在解決方案方面,客戶需要的是以移動機器人為核心的整體解決方案,往往還需要配套提供電子料架、緩存等相關設備,與MCS、RTD等上位系統的對接,Abnormal的上報機制等,在供應商對半導體物流場景的理解能力,以及專業解決方案的提供能力這兩方面也提出了更高要求。

            Q3

            浙江欣奕華是如何成功在半導體行業破局的?

            我們選擇了由難到易的探索路徑,相對于晶圓制造廠、封測廠,移動機器人在硅片工廠的規?;涞馗咛魬?。不同于晶圓制造和封測廠中應用的FOUP(前開式晶圓傳送盒)或FOSB (前開式出貨盒)這類標準載具,在硅片制造中,硅片的傳送應用的是OCOpen Casette,開放式卡匣),一種透明且異形的載具。傳統模式下,經過拉晶、切片的毛坯硅片使用OHT運送到緩存區,然后由工人在附著、研磨、拋光、磨邊、清洗、檢測等不同生產工序之間完成手動搬運及上下料,不僅需要大量人工完成作業,并且由于工序多,環節復雜,人工作業難以保障賬料信息準確性;同時,由于人工接駁,在清洗環節水槽里的水易外灑;人工檢測的準確性難以保證,一旦破損硅片進入工藝設備會直接導致設備宕機。

             

            對此,浙江欣奕華研發團隊根據硅片制造中的需求開發了SIBOT系列復合機器人和W系列水槽機器人。SIBOT系列復合機器人能夠實現對OC、FOUP、FOSB的精準抓取、平穩搬運、接駁作業,水槽機器人可完成硅片制成環節的wafer清洗水槽搬運。

             

            目前,以SIBOT系列復合機器人和W系列水槽機器人為核心,配套電子料架、水槽Buffer等硬件設備,以及搭載自主研發的調度系統、叫料系統等軟件體系的半導體行業整體解決方案已在國內知名半導體硅片生產公司規?;涞貞?,幫助客戶實現了硅片制造工廠物流數字化、智能化升級,節省了大量人工,助力客戶產能大幅提升。

            Q4

            SIBOT系列復合機器人和W系列水槽機器人分別有哪些技術優勢?

            SIBOT系列復合機器人有五大應用優勢:

             

            第一,設備精度高。在運動精度方面,設備導航精度為±10mm,重復??烤?/span>±5mm;由于抓取對象主要為硅片,對機械臂模組重復定位精度提出了更高要求,最終采用2D/2.5D/3D視覺引導,重復抓取精度可達到±1mm。

             

            第二,安全可靠。設備采用安全互鎖邏輯、選用多傳感器安全模塊、擁有全方位安全校驗能力,可實現人員、物料、生產和設備四大安全保證。

             

            第三,運行速度快。單次??坎⒆ト⊥瓿蓵r間僅為20sec。

             

            第四,減震能力強。以設備搬運震動參數為例,行業普遍要求<0.5g,SIBOT系列復合機器人則在保證<0.3g搬運震動要求下,達到1m/sec的設備運行速度,結合自動上下料解決方案,可實現高效抓取。

             

            第五,穩定高效??紤]到客戶使用場景需要,設備特別搭載了抗干擾能力強的E84光通訊模塊,便于實現半導體產線中StockerSTK)、機臺和設備之間進行通訊和控制需要;設備還特別適配Websocket協議,可滿足客戶不同應用場景下的設備運行需求,極大化地完善了設備的泛用性與穩定性。

            W系列水槽機器人是浙江欣奕華在對客戶應用場景極致探究后,率先在業內推出的工藝制程段關鍵設備。它的技術優勢主要在于:所用元器件均滿足無塵環境,潔凈度達到Class 100;設備防水等級達到IP65。其中,擁有機械臂模組的WR600則即可搬運水槽又可搬運OC,擁有夾具入水檢測和防水功能,且具備從水中抓取OC能力,完美接駁了半導體產線從清洗設備到研磨設備的場景延續。此外,設備在水槽開口的搬運場景下,也能達到1m/sec的極高搬運速度,接駁精度則可達到±2mm。

             

            浙江欣奕華SIBOT12 Pro復合機器人

            Q5

            作為全場景移動機器人解決方案提供商,浙江欣奕華還取得了哪些重要突破?

            在行業拓展方面,浙江欣奕華的核心賽道在高端制造,除了半導體行業,在3C電子制造、顯示制造、生物醫藥制造、新能源等行業也有卓越表現。

             

            3C電子制造為例,浙江欣奕華為業內知名通信與信息技術解決方案提供商打造了以定制開發的單層可調輥筒接駁機器人為核心,配套自主研發的機器人調度系統、叫料系統形成的整體解決方案。這一解決方案理順了3C電子制造業客戶單板測試領域的作業流程,提高了物料流轉效率,所有調度任務通過工廠制造控制系統(MES)發布,讓生產節拍的控制能力更加精準,搬運數據可實時追溯。

             

            在產品創新方面,浙江欣奕華近期還推出了揀選機器人和潛伏機器人。

             

            在軟件和算法創新方面,浙江欣奕華自主研發的軟件產品矩陣,可為客戶提供強大的機器人智能調度管理系統,通過后臺集中監控,能夠實現多機器人的任務指派、調度協同與交通管制,提供接口與客戶現有的WMS、MES、ERP等系統無縫對接。自主研發的算法平臺更是具備六大優勢:高精度高識別率;作業安全;作業效率高;易用易維;兼容并蓄適配各類機器人,通用性高;柔性智能。

            Q6

            浙江欣奕華在高端制造行業的核心競爭優勢是什么?

            移動機器人解決方案絕不是一錘子買賣,需要全生命周期服務。

             

            作為高端制造行業企業的全場景移動機器人解決方案供應商,要想長久發展,需要具備領先的軟硬件技術創新和產品研發能力,還要具備專業的整體解決方案提供能力。此外,高品質產品制造能力,專業的售后服務能力更是讓項目長久良好運行的基礎。

             

            浙江欣奕華形成了行業領先優勢。首先,浙江欣奕華所屬的欣奕華集團是平板顯示、半導體、光伏、智能制造、關鍵材料等高端制造領域的有力競爭者,并且在算法、芯片等移動機器人關鍵技術領域積累了雄厚的科技實力。這為浙江欣奕華在移動機器人技術和產品創新能力,以及洞察客戶需求提供專業解決方案等方面帶來了與生俱來的優勢。同時,浙江欣奕華的核心團隊成員也都是在航天、AI技術領域、移動機器人領域有技術專長和豐富項目經驗的實干人才,極致的工匠精神是團隊成員工作中的一致追求。

             

            在高品質產品生產制造方面,欣奕華移動機器人在浙江省海寧市擁有占地面積263畝的生產基地,車間內裝配全自動化生產線,生產設備先進,年產能達50000臺,為快速實現高品質產品供應提供了保障。

             

            在售后服務方面,售后服務網絡和專業的售后服務團隊,為保證項目長期穩定運行保駕護航,我們能夠及時響應客戶服務需求,并迅速給與行之有效的解決措施。

            Q7

            未來,浙江欣奕華有哪些發展計劃?

            “AI+ AMR+賦能智造,助力全球合作伙伴提高生產經營智能化和數字化水平是浙江欣奕華的長期發展目標。

             

            2023119日,工信部聯合十七部門印發了《機器人+”應用行動實施方案》,提出到2025年,制造業機器人密度較2020年實現翻番,機器人行業應用深度和廣度顯著提升,機器人促進經濟社會高質量發展的能力明顯增強。政策推動加上疫情后制造業對自動化投資加強兩大因素,決定了2023年移動機器人行業有望迎來高速發展的新階段。從CMR產業聯盟提供的數據來看,2022年度市場銷售額已達185億元,同比增長46.82%。按照這樣的發展速度,移動機器人產業未來十年內極有可能邁向千億市場規模。

             

            浙江欣奕華的市場發展已經進入了快車道,創立的前幾年我們聚焦技術突破和算法創新,2022為浙江欣奕華商業化落地的元年,市場拓展全面開局,年復合增長率高達500%,預計2023年的復合增長率也將維持在300%的高位。

             

            除了當前的商業落地,我們還聚焦于下一代技術及產品的拓荒,一旦成熟,我們的商業畫布還會發生重大變化??傊痪湓?,未來,在我們熟悉的領域,用我們熟悉的技術,創造我們熟悉又不熟悉的產品,來迎接并推動人工智能商業落地時代的到來。


            為您提供全場景移動機器人解決方案
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